特許

J-GLOBAL ID：200903011102939678

レーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法

発明者： 細野 和也 ,  森山 文徳 ,  大塚 昭彦 ,  石本 芳明
出願人/特許権者： 株式会社超高温材料研究所
代理人 (1件)： 中前 富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-254999
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065982
出願日： 2001年08月24日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 試料に膜を形成することで発生する熱拡散率の測定精度の低下を抑制し、熱拡散率を高い精度で得ることが可能なレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法を提供する。【解決手段】 固体状試料の一面側に膜Aを形成した後、膜Aにレーザパルス光を照射して試料の他面側の温度上昇時間を測定し、試料の熱拡散率を求めるレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法であって、試料厚さと温度上昇時間とを基に仮熱拡散率を求め、仮熱拡散率を所定の補正式に代入して試料厚さを補正した後、補正後の試料厚さLS5と温度上昇時間とを基に熱拡散率を求める。

請求項（抜粋）：

固体状試料の一面側に膜Aを形成した後、該膜Aにレーザパルス光を照射して前記試料の他面側の温度上昇時間を測定し、前記試料の熱拡散率を求めるレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法であって、前記試料厚さと前記温度上昇時間とを基に仮熱拡散率を求め、該仮熱拡散率を下記補正式に代入して前記試料厚さを補正した後、補正後の試料厚さLS5と前記温度上昇時間とを基に前記熱拡散率を求めることを特徴とするレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法。【数1】ここで、L1 は膜厚さ、L2 は試料厚さ、ρi は密度、ci は比熱、αi は熱拡散率、pはラプラス変数、下付き添え字の1は膜、2は試料をそれぞれ示す。

Fターム (11件)：

2G040AA01 ,  2G040AB05 ,  2G040AB09 ,  2G040BA26 ,  2G040CA02 ,  2G040CA22 ,  2G040CA23 ,  2G040DA03 ,  2G040DA05 ,  2G040EA06 ,  2G040HA18

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 微小領域熱物性測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-290555   出願人：工業技術院長, 株式会社ベテル, 竹歳尚之, 馬場哲也
• 半球面鏡式比熱容量測定法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-352900   出願人：工業技術院長
• 半球面鏡式レーザフラッシュ方式による熱拡散率測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-299334   出願人：工業技術院長, 京都電子工業株式会社

引用文献：

出願人引用 (1件)

• 黒化膜の熱拡散率測定値への影響と補正法