特許

J-GLOBAL ID：200903011107645095

位置検出装置及び位置検出方法

発明者： 太田 和哉 ,  馬込 伸貴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-182445
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073410
出願日： 1990年01月22日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【目的】 精度よく回折格子マークの位置を計測する。【構成】 ウエハに設けられた回折格子マークに異なる2方向から周波数差の異なる2本のビームを照射する。回折格子からの±1次光の干渉光を受光する第1受光素子と、回折格子からの0、2次光の干渉光を受光する第2受光素子とを設け、第1受光素子と第2受光素子との各々の出力と参照信号との位相差を求める。各々の位相差に基づいて、位相差に与えるオフセットを選択する。

請求項（抜粋）：

被測定物に設けられた回折格子に対して互いに異なる2方向から光ビームを照射する光ビーム照射手段と、前記回折格子から生じる特定の回折光同志の干渉強度を検出する光電検出手段と、該光電検出手段の出力信号に基づいて前記回折格子の格子ピッチ方向に関する前記被測定物の変位を計測する計測手段とを備えた装置において、前記光電検出手段は、前記回折格子から同一方向に進む同一回折角を持った回折光同志の干渉強度を検出する第1光電検出器と、前記回折格子から同一方向に進む異なる回折角を持った回折光同志の干渉強度を検出する第2光電検出器とを備え;前記計測手段は、前記被測定物の変位に対応した値を前記第1光電検出器の出力信号に基づいて計測する第1計測部と、前記第2光電検出器の出力信号に基づいて計測する第2計測部とを有し、前記光ビーム照射手段は、前記2方向からの光ビームに所定の周波数差を与える周波数変調部材と、該周波数差と等しい周波数の参照信号を出力する参照信号発生部とを備え、それによって、前記第1光電検出器と第2光電検出器の夫々は、前記所定の周波数差と等しい周波数の第1光電信号と第2光電信号とを出力し、さらに前記第1計測部は前記参照信号と前記第1光電信号との第1位相関係を前記計測値として検出する第1位相検出部を有し、前記第2計測部は前記参照信号と前記第2光電信号との第2位相関係を前記計測値として検出する第2位相検出部を有し、前記計測手段は、前記第1位相検出部の検出結果と前記第2位相検出部の検出結果とに基づいて、前記第2位相差検出部の検出結果に所定のオフセットを与えるオフセット選択部を含むことを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/38 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 11/00 F ,  G01D 5/38 A ,  H01L 21/30 522 D ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 525 H