特許

J-GLOBAL ID：200903011108801791

形状測定装置及び該方法

発明者： 木寺 正平 ,  阪本 卓也 ,  佐藤 亨
出願人/特許権者： 国立大学法人京都大学
代理人 (2件)： 小谷 悦司 ,  櫻井 智
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-168863
公開番号（公開出願番号）：特開2006-343205
出願日： 2005年06月08日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：

【課題】 本発明は物体形状をより精度よく求め得る形状測定装置及び該方法を提供する。【解決手段】 本発明の形状測定装置は、送信パルスを生成する信号生成部11と、送信パルスを空間に放射する送信アンテナA1と、送信パルスの放射位置で物体反射の送信パルスを受信する受信アンテナA2及び信号受信部12と、物体に対して送信アンテナA1の位置を変えながら送信パルスを放射して得た複数の受信信号と参照信号とから複数の相関波形を求める相関部131と、複数の相関波形に基づいて擬似波面を抽出する擬似波面抽出部132と、擬似波面と物体形状との対応関係から物体形状を推定する形状推定部133と、推定物体形状に応じた受信信号波形を推定する波形推定部134とを備え、参照信号波形として最初は送信パルス波形を用いると共に次回以降は推定した受信信号波形を用い、物体形状を複数回推定することで物体形状を求める。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

物体の形状を測定する形状測定装置において、 パルスを生成して送信パルスとして空間に放射するパルス生成放射部と、 前記送信パルスを放射した位置で前記物体で反射した前記送信パルスの反射波を受信信号として受信する受信部と、 前記物体に対して前記パルス生成放射部の位置を変えながら前記送信パルスを放射することによって前記受信部で受信された複数の受信信号の波形と参照信号の波形との相互相関をそれぞれ求めることで複数の相関波形を求める相関部と、 前記相関部で求められた複数の相関波形に基づいて擬似波面を抽出して擬似波面と物体の形状との対応関係から前記物体の形状を推定する形状推定部と、 前記形状推定部で推定した物体の形状に応じた受信信号の波形を推定する波形推定部とを備え、 前記参照信号の波形として最初は前記送信パルスの波形を用いると共に次回以降は前記波形推定部で推定した受信信号の波形を用い、前記物体の形状を複数回推定することによって前記物体の形状を求めること を特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01S 13/89

FI (1件)：

G01S13/89

Fターム (7件)：

5J070AB01 ,  5J070AC01 ,  5J070AC02 ,  5J070AF02 ,  5J070AH04 ,  5J070AK22 ,  5J070BE01