特許
J-GLOBAL ID：200903011124885784
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022521
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227968
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 ヒーターで発生した熱が基板へ逃げることなく効率よくインクへ伝達可能なインクジェット記録ヘッド及びその製造方法を提供する。【構成】 ヒーター下部に断熱層として空間を有し、かつヒーター上部の絶縁膜をシリコン酸化膜、シリコン窒化膜又はシリコン窒化酸化膜より大きな熱伝導率をもつ材料で形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッド及びその製造方法。
請求項（抜粋）：
インクジェット方式のプリンタヘッドにおいて、ヒーター直下部に断熱層としての空間を有し、かつ、ヒーター上部の絶縁膜をシリコン酸化膜SiO2 、シリコン窒化膜SiN、又はシリコン窒化酸化膜SiONより大きな熱伝導率をもつ材料で形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
