特許

J-GLOBAL ID：200903011130559350

微細構造の製造方法

発明者： 岡嶋 道生 ,  楠本 修 ,  任田 隆夫 ,  横山 和夫 ,  柴田 元司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-111125
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306200
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】 キャリアの捕捉中心や光の吸収準位などが少なく、かつ少なくとも2次元面内では任意の形状を有する量子細線や量子箱などの微細構造を実現する。【構成】 尖鋭な先端を有する針を基板1上に近接させ、針を構成する金属を先端から蒸発させることで、あるいは周りの気体、液体に含有する金属をトンネル電流等で分解することで基板上にそれを局所的に付着させ、その後気相-液相-固相反応を用いることによりその局所領域上に微細構造結晶を成長させる。

請求項（抜粋）：

尖鋭な先端を有する導電性の針を基板表面に近接させ、基板材料と共晶型相平衡を示す金属を含有する所定の圧力の気体中で、針と基板表面の間に所定の電界を印加しトンネル電流あるいは電界放出電流を流すことにより基板表面に少なくとも前記金属を局所的に析出させ、その後基板表面の温度を前記金属と基板材料との共晶点温度以上かつそれぞれの融点以下に設定することで、前記の金属析出場所に局所的な合金液滴領域を形成し、気相-液相-固相反応を用いることによりその液滴領域に接する基板表面上に結晶を局所的に析出させることを特徴とする微細構造の製造方法。