特許
J-GLOBAL ID：200903011136279162
発光型表示装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280369
公開番号（公開出願番号）：特開平7-114351
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】 Si結晶を用いた発光素子をガラス基板上に形成してなる発光型表示装置を提供する。【構成】 ガラス基板1上に形成された発光素子11は、接地電極12、発光層13、絶縁膜14、対向電極15からなっている。このうち発光層13は、スパッタ装置の酸化シリコンターゲット上にSiチップを乗せ、接地電極12上に固溶限以上のSiを含む酸化シリコン層を堆積し、これをレーザアニールすることにより、微粒子Si結晶を析出させて、微粒子Si結晶を含む酸化シリコン層としたものからなっている。薄膜トランジスタ21がオン状態になると、発光素子11の対向電極15と接地電極12との間に電圧が印加され、発光層13に注入されるキャリアの再結合により、発光層13から光が放出される。
請求項（抜粋）：
微粒子Si(シリコン)結晶を含む発光層を一対の電極間に形成してなる発光素子をガラス基板上にマトリックス状に配列してなることを特徴とする発光型表示装置。
IPC (3件)：
G09F 9/33
, H01L 29/786
, H01L 33/00
