特許

J-GLOBAL ID：200903011145760639

気体試料を分析する方法及び装置

発明者： アレグザンダー・ジェイ・ミッコー ,  ドナルド・ジー・エリス ,  ノーマン・ダブリュー・バー
出願人/特許権者： マークェット・エレクトロニクス・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244180
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220676
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 質量分析計装置の残留イオンによる操作妨害を除き、安定性及び精度、感度を長期維持する。【構成】 真空手段12;イオン化室26に気体試料を導入する入口通路14;気体試料の容積を制御するためにその入口通路と連携した弁手段;イオン化室中へ電子を導入し気体試料を射突してイオンを形成させるためのフィラメント;イオン化室に隣接して配置し、イオン及び電子の一部分がそれを抜けて通過するようにバイアスを掛けた抽出プレートに隣接し、予選択質量:電荷比を有するイオンの流れを通過させ、他のイオンを分離するように作動する四極子フィルター50;電子を他のイオンの方へ導いてイオンと結合させる手段;四極子フィルター50を通過するイオンの流れを検出するセンサー64と接続した気体試料の分析手段からなる。

請求項（抜粋）：

質量分析計内に内部真空を生じさせる手段;イオン化室;そのイオン化室内に気体試料を導入する入口通路;そのイオン化室内に導入される気体試料の容積を制御するためにその入口通路と連携した弁手段;そのイオン化室中へ電子を導入して、それにより電子が気体試料を射突してイオンを形成させるためのフィラメント;そのイオン化室に隣接して配置され、そしてイオン及び電子の一部分がそれを抜けて通過させられるようにバイアスを掛けられた抽出プレート;その抽出プレートに隣接し、そしてその抽出プレートによってそれらのイオン及び電子が導き入れられる四極子フィルターであって、予選択質量:電荷比を有するイオンの流れをそのフィルターを通過せしめ、そしてその予選択質;:電荷比を有するイオン以外のイオンをそのイオン流から分離するように作動する四極子フィルター;その四極子フィルターの領域において電子を予選択質量:電荷比を有するイオン以外のイオンの方へ導いて、それによりそれらの電子をイオンと結合させるような手段;該四極子フィルターを通過するイオンの流れを検出するセンサー;及び気体試料の成分を分析するためにそのセンサーと接続された分析手段;からなる質量分析計装置。

IPC (3件)：

H01J 49/42 ,  G01N 27/64 ,  G01N 27/62