特許
J-GLOBAL ID：200903011147158871
赤外線センサアレー及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078375
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280644
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 シリコン基板のエッチング工程が排除された平面マイクロ架空技術を用いた単純な工程の赤外線センサアレー及びその製造方法を提供する。【構成】 本発明の赤外線センサアレーは基板と、基板との間に断熱のための空間部を有する支持台と、空間部の上部の支持台上に互いに一定の間隔を置いて配列された多数の赤外線センサとを含み、その製造方法は、基板の上部の所定領域に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層を覆うように基板上に支持台を形成する工程と、犠牲層の上部の前記支持台上に互いに一定の間隔を置いて配列された多数個の赤外線センサを形成する工程と、犠牲層を除去して断熱のための空間部を形成する工程とを含む。
請求項（抜粋）：
基板と、基板との間に断熱のための空間部を有する支持台と、空間部の上部の支持台上に互いに一定の間隔を置いて配列された多数の赤外線センサと、を含むことを特徴とする赤外線センサアレー。
IPC (2件)：
引用特許：
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