特許
J-GLOBAL ID：200903011148302674
マスク交換装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225306
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053116
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】本発明は、マスク交換装置において、マスク交換を高い精度かつ短時間で実行する。【構成】複数のマスク保持手段によつて複数のマスクをそれぞれ保持すると共に、マスク保持手段に各別に設けられたアライメント手段によつてそれぞれ各別に基板に対して位置決めし、複数のマスク保持手段及び対応する複数のアライメント手段が一体に支持された移動手段によつて、露光に用いるマスクが保持されたマスク保持手段を、所定の露光位置に移動させるようにしたことにより、マスクの受渡しや露光直前のマスクの位置決めに必要なアライメントマークのサーチを省略し得、かくしてマスク交換を高い精度かつ短時間で実行し得る。
請求項（抜粋）：
基板に対する露光に用いる複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持手段と、前記複数のマスク保持手段をそれぞれ駆動して、前記複数のマスクをそれぞれ前記基板に対して位置決めするアライメント手段と、前記複数のマスク保持手段に保持された前記複数のマスクのうち、露光に用いる前記マスクが保持された前記マスク保持手段を所定の露光位置に移動させる移動手段とを具えることを特徴とするマスク交換装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 1/08
, G03F 7/20 521
