特許
J-GLOBAL ID：200903011154323721
プラズマディスプレイパネル用背面板とその製造方法、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-063144
公開番号（公開出願番号）：特開2001-250475
出願日： 2000年03月08日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：
【要約】【課題】 ?@露光マスクが高価である点、?A書き込み電極と露光マスクのパターンとの位置合わせに伴う工程の複雑化等、?B露光マスクや背面板の表面に付着するゴミに起因してリブパターンに欠陥が発生する点。【解決手段】 ガラス基板12の表面12S1上に形成する書き込み電極13を露光光16を遮光可能に設定し、書き込み電極13を覆う誘電体層14を露光光16を透過可能な材質で形成し、ガラスペースト15をネガ型の感光性を有するリブペーストとする。そして、書き込み電極13を露光マスクとして、ガラス基板12の裏面12S2側から露光光16を背面板RPに照射してガラスペースト15を露光する。
請求項（抜粋）：
露光光を透過可能なガラス基板と、前記ガラス基板の第1主面上に形成され且つ前記露光光を遮光可能な複数の書き込み電極と、前記複数の書き込み電極を被覆する様に前記ガラス基板の前記第1主面上に形成され且つ感光部分が現像液に対して不溶になるネガ型の感光性を有するガラスペーストとを備えたプラズマディスプレイパネル用背面板を準備し、前記第1主面に対向する前記ガラス基板の第2主面側より前記露光光を前記プラズマディスプレイパネル用背面板に照射し、前記露光後に前記ガラスペーストの未露光部分を前記現像液により除去することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
