特許

J-GLOBAL ID：200903011157662462

ペリクル剥離方法および装置

発明者： 高野 径朗 ,  雛田 政治
出願人/特許権者： シグマメルテック株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-104643
公開番号（公開出願番号）：特開2007-241204
出願日： 2006年03月08日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】ペリクルをマスクから剥がす際に、異物がマスクに付着したりマスクを傷つけることを防止する。【解決手段】マスク1を熱板に載置して固定し、ペリクルをマスクに固定する粘着剤を軟溶化して、ペリクルを把持して所定長移動し、そのギャップに粘着剤巻き取り手段12を挿入してペリクル粘着剤を巻き取って剥離する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

マスクに貼りつけられたペリクルを剥離する方法において、マスクを熱板に載置して固定し、ペリクルを把持して所定長移動し、その間隙に粘着剤巻取り手段を挿入してペリクル接着面に沿って移動してペリクル粘着剤を巻き取ってペリクルを剥離することを特徴としたペリクル剥離方法。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F1/14 K ,  H01L21/30 502P

Fターム (3件)：

2H095BC38 ,  2H095BC39 ,  2H095BE11