特許
J-GLOBAL ID：200903011159981417
静電容量式加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003915
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209325
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、静電容量式の加速度センサの容量変化信号を、簡単に且つ精度良く検出し、調整することができる加速度センサを提供することにある。【構成】上記目的を達成するために、本発明ではセンサの容量検出回路の容量検出用の積分用コンデンサを複数個接続し、センサのばらつきを調整するためにこのコンデンサをつなぎ換えることにより出力を調整するよう構成したものである。【効果】本発明によると、容量式加速度センサの容量検出回路を静電サーボ制御用いることなく比較的高精度に検出できるとともに、加速度検出素子の特性がばらついても、センサの出力はばらつくことがないという効果がある。
請求項（抜粋）：
加速度に対して変位する可動電極と、前記可動電極を介在させた状態で対向配置される少なくとも1対の固定電極とを有し、前記可動電極が基準位置より変位したときには、その変位を前記可動電極と前記固定電極の静電容量の変化よりとらえて、加速度を検出する静電容量式加速度センサにおいて、静電容量の変化を検出するための容量検出用コンデンサの容量値を調整することによってセンサの出力を調整するよう構成したことを特徴とする静電容量式加速度センサ。
引用特許：
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