特許
J-GLOBAL ID：200903011169789824
ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166850
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031920
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】クリープ変形を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供する。【構成】蓋体3の底面に装着されて、内箱1に収納された各ウェーハWの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え4が、直方形をした支持枠5と、その内の相対する二辺に基部が連設され内方へU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材6とからなり、弾性部材6の先端は蓋体3の底面と 0.5〜10mmの間隙αをおいて配設されているものである。
請求項（抜粋）：
蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が連設され内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材とからなり、弾性部材の先端は蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙をおいて配設されていることを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ抑え。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, C23C 14/50
