特許
J-GLOBAL ID：200903011173252711
板状ワークの検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118362
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305074
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】 透過専用照明を用意することなく、常に一定の背景の下で検査対象を撮像でき、検査精度を向上できるようにする。【解決手段】 板状ワークの検査装置において、所定のパターンが形成されている板状のワークWを支持するステージ20と、該ステージに支持されているワークの表面に沿って走査される表面用カメラ10Aと、該ワークの裏面に沿って走査される裏面用カメラ10Bと、前記ワークの表面側に配設された、前記表面用カメラと同期して移動する表面用同軸落射照明12Aと、前記ワークの裏面側に配設された、前記裏面用カメラと同期して移動する裏面用同軸落射照明12Bとを備えていると共に、前記表面用カメラと前記裏面用カメラとを、前記裏面用同軸落射照明と前記表面用同軸落射照明とが、それぞれ反対側のカメラに対する透過照明になるように同期して移動させ、前記ワークの表裏両面をそれぞれ撮像する制御部28を備えた。
請求項（抜粋）：
所定のパターンが形成されている板状のワークの表面に沿って表面用カメラを走査して該表面の画像を撮像すると共に、該ワークの裏面に沿って裏面用カメラを走査して該裏面の画像を撮像し、得られる画像に基づいて該ワークを検査する際、前記ワークの表面側に、前記表面用カメラと同期して移動する表面用同軸落射照明を、前記ワークの裏面側に、前記裏面用カメラと同期して移動する裏面用同軸落射照明をそれぞれ配設すると共に、前記表面用カメラと前記裏面用カメラとを、前記裏面用同軸落射照明と前記表面用同軸落射照明とが、それぞれ反対側のカメラに対する透過照明になるように同期して移動させ、前記ワークの表裏両面をそれぞれ撮像することを特徴とする板状ワークの検査方法。
Fターム (17件)：
2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051BA01
, 2G051BB03
, 2G051BB11
, 2G051BC01
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CC11
, 2G051CD06
, 2G051DA05
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EB01
, 2G051EC01
