特許

J-GLOBAL ID：200903011189328181

枚葉式熱処理装置

発明者： 木村 英利
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-086104
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264473
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 処理容器の側壁部のみに加熱手段を設けることによって、被処理体の面内均一性を高めることができる枚葉式熱処理装置を提供する。【構成】 載置部16に支持された1枚の被処理体Wを熱処理する枚葉式熱処理装置において、真空引き可能になされた筒体状の処理容器14と、前記被処理体を加熱する加熱手段26とを設け、前記加熱手段は前記処理容器の側壁部14のみに設ける。これにより、加熱手段から被処理体の微小エリアに対する輻射熱の供給量とこれからの放熱量の収支が面内に亘って略同じとなり、面内温度の均一性を高めることが可能となる。

請求項（抜粋）：

載置部に支持された1枚の被処理体を熱処理する枚葉式熱処理装置において、真空引き可能になされた筒体状の処理容器と、前記被処理体を加熱する加熱手段とを設け、前記加熱手段は前記処理容器の側壁部のみに設けられていることを特徴とする枚葉式熱処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/26 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H01L 21/22 511 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/26 L ,  H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-033991   出願人：東京エレクトロン相模株式会社
• 特開昭62-293622