特許
J-GLOBAL ID：200903011193631492
反射型回折格子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 俊哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-375994
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205880
出願日： 2002年12月26日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
【課題】反射型回折格子の偏光依存性を低減し、回折光学素子を利用する光学系において、偏光特性を低減するために特別な光学素子を付加することを不要とする。【解決手段】本発明の反射型回折格子は、平板状基板表面に複数の平行な直線状溝を一定周期で形成したものであって、この溝の間の凸部は交互に異なる2種類の高さとし、それぞれの高さの凸部を分光対象波長域の平均波長に対して0.1〜10倍の範囲の周期で配列する。この溝間凸部の第1の高さは回折格子の分光対象波長域の平均波長の1/5〜1/2の範囲であり、第2の高さが同平均波長の1/100〜1/10であることが望ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平板状基板表面に複数の平行な直線状溝を一定周期で形成した反射型回折格子において、前記溝の間の凸部は交互に異なる2種類の高さを有し、それぞれの高さの凸部が分光対象波長域の平均波長に対して0.1〜10倍の範囲の周期で配列されていることを特徴とする反射型回折格子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2G086EE06
, 2H049AA07
, 2H049AA37
, 2H049AA46
, 2H049AA51
, 2H049AA66
