特許

J-GLOBAL ID：200903011196891452

光触媒薄膜材料及びその製造方法

発明者： 野島 秀雄
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 晴康 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046980
公開番号（公開出願番号）：特開2001-232213
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：

【要約】【課題】 可視光の照射によって、触媒機能を発現する薄膜材料を提供する。【解決手段】 Al2O3基板13上に、温度700°Cに設定して酸化チタン薄膜11とVO2薄膜12を、それぞれ厚さ5nmにして交互に積層する。最終的な全体の膜厚の厚さを200nmにして薄膜を形成した後、500Torrの酸素雰囲気中で室温まで冷却して光触媒薄膜材料を作製する。

請求項（抜粋）：

基板上に、酸化チタン薄膜とAO2(A=V,Cr,Pb,W,Re,Mo,Os,Ir,Ru,Sn)で表される酸化物薄膜を交互に積層して形成されたことを特徴とする光触媒薄膜材料。

IPC (15件)：

B01J 35/02 ,  B01D 53/86 ,  B01D 53/94 ,  B01J 21/06 ,  B01J 21/06 ZAB ,  B01J 23/14 ,  B01J 23/16 ,  B01J 23/22 ,  B01J 23/26 ,  B01J 23/46 ,  B01J 37/02 301 ,  C01B 3/04 ,  C01B 13/02 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/28

FI (22件)：

B01J 35/02 J ,  B01J 35/02 P ,  B01J 21/06 M ,  B01J 21/06 ZAB A ,  B01J 23/14 A ,  B01J 23/14 M ,  B01J 23/16 A ,  B01J 23/16 M ,  B01J 23/22 A ,  B01J 23/22 M ,  B01J 23/26 A ,  B01J 23/26 M ,  B01J 23/46 A ,  B01J 23/46 M ,  B01J 37/02 301 P ,  C01B 3/04 A ,  C01B 13/02 B ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/28 ,  B01D 53/36 J ,  B01D 53/36 G ,  B01D 53/36 102 B

Fターム (70件)：

4D048AA06 ,  4D048AA11 ,  4D048AA19 ,  4D048AB03 ,  4D048BA07X ,  4D048BA20Y ,  4D048BA21Y ,  4D048BA23X ,  4D048BA25X ,  4D048BA26Y ,  4D048BA27Y ,  4D048BA29Y ,  4D048BA32Y ,  4D048BA33Y ,  4D048BA41X ,  4D048BB11 ,  4D048CC40 ,  4D048CD05 ,  4D048EA01 ,  4G042BA05 ,  4G042BB04 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069AA12 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069BB06A ,  4G069BB06B ,  4G069BC21A ,  4G069BC21B ,  4G069BC22A ,  4G069BC22B ,  4G069BC54A ,  4G069BC54B ,  4G069BC58A ,  4G069BC58B ,  4G069BC59A ,  4G069BC59B ,  4G069BC60A ,  4G069BC60B ,  4G069BC64A ,  4G069BC64B ,  4G069BC70A ,  4G069BC70B ,  4G069BC73A ,  4G069BC73B ,  4G069BC74A ,  4G069BC74B ,  4G069CA13 ,  4G069CA17 ,  4G069CA19 ,  4G069CC33 ,  4G069DA05 ,  4G069EA08 ,  4G069EC22Y ,  4G069EC28 ,  4G069EE06 ,  4G069FA01 ,  4G069FA06 ,  4G069FB02 ,  4K029AA07 ,  4K029BA43 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB20 ,  4K029GA00