特許

J-GLOBAL ID：200903011197767224

マスフローコントローラ

発明者： 米山 詩麻夫
出願人/特許権者： エム・シー・エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260853
公開番号（公開出願番号）：特開平6-083456
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】 腐食性ガスの漏洩や配管等の加熱処理による回路の損傷等を防止することができ、且つ、プロセスの変更等による制御条件の変更に容易に対処できるマスフローコントローラを提供する。【構成】 弁ユニットと制御ユニットとから構成され、弁ユニットには、流体が通過する流路と、流路の開度を規定する弁体と、弁体を駆動させる駆動部と、流路中の流体の流量を検出するセンサとが備えられ、制御ユニットには、センサからの信号を取り込んで流量信号を出力するブリッジ回路と、流量信号と所定の設定信号とを比較して補正信号を出力する比較回路と、補正信号に基づいて駆動部に駆動信号を出力する駆動回路とが備えられたマスフローコントローラにおいて、弁ユニットは、制御ユニットから分離されてケーシングに収納されている。

請求項（抜粋）：

弁機構(1)と制御機構(2)とから構成され、前記弁機構(1)には、流体が通過する流路(11)と、この流路(11)の開度を規定する弁体(15)と、この弁体(15)を駆動させる駆動部(17)と、前記流路(11)中の流体流量を検出するセンサ(16)とが備えられ、前記制御機構(2)には、前記センサ(16)での検出信号(f1)を取り込んで流量信号(f2)を出力するブリッジ回路(21)と、前記流量信号(f2)と所定の設定信号(f4)とを比較して補正信号(f3)を出力する比較回路(22)と、前記補正信号(f3)に基づいて前記駆動部(17)に駆動信号(f5)を出力する駆動回路(23)とが備えられたマスフローコントローラにおいて、前記弁機構(1)は、前記制御機構(2)から分離されてケーシング(10)に収納されていることを特徴とするマスフローコントローラ。

IPC (2件)：

G05D 7/06 ,  F16K 31/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-142982
  
• 特開昭64-003517
  
• 特開昭61-017018