メンテナンス判定機能付き真空ポンプ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183380
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012379
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】メンテナンスの適切化を図ることができるメンテナンス判定機能付き真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプは、ケーシングのポンプ室に作動可能に設けられ作動に伴い吸込口から吸気した媒体を排出口から排出するポンプ部と、ポンプ部を回転駆動させるモータとをもつ。ポンプ部の運転状況に関する物理量を時間軸に沿って検知する検知手段20〜24と、検知手段20〜24で検知されたポンプ部の運転状況に関する物理量を記憶する記憶手段34と、記憶手段34に記憶したポンプ部の運転状況に関する物理量に関するデータを時間軸に沿って視覚的に表示可能である表示手段40とが設けられている。

請求項（抜粋）：

吸込口、ポンプ室及び排出口をもつケーシングと、前記ポンプ室に回転可能に設けられたロータとを具備し、該ロータの回転に伴い前記吸込口から吸気した媒体を前記排出口から排出するポンプ部と、前記ロータを回転させるモータとをもつ真空ポンプにおいて、前記真空ポンプの運転状況に関する物理量を時間軸に沿って検知する検知手段と、前記検知手段で検知された前記真空ポンプの運転状況に関する物理量を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶した前記真空ポンプの運転状況に関する物理量に関するデータを時間軸に沿って視覚的に表示可能である表示手段とを備えていることを特徴とするメンテナンス判定機能付き真空ポンプ。

IPC (7件)：

F04C 29/10 331 , F04C 29/10 , F04C 29/10 321 , F04B 49/06 341 , F04C 18/18 , F04C 23/00 , F04C 25/02

FI (7件)：

F04C 29/10 331 A , F04C 29/10 331 B , F04C 29/10 321 A , F04B 49/06 341 J , F04C 18/18 A , F04C 23/00 F , F04C 25/02 K

Fターム (30件)：

3H029AA06 , 3H029AB06 , 3H029AB08 , 3H029BB34 , 3H029BB47 , 3H029BB60 , 3H029CC02 , 3H029CC07 , 3H029CC25 , 3H029CC52 , 3H029CC54 , 3H029CC56 , 3H029CC58 , 3H029CC65 , 3H045AA02 , 3H045AA09 , 3H045AA12 , 3H045AA26 , 3H045AA38 , 3H045BA41 , 3H045CA02 , 3H045CA09 , 3H045CA19 , 3H045CA21 , 3H045CA29 , 3H045DA02 , 3H045DA46 , 3H045EA35 , 3H045EA36 , 3H045EA49

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