特許
J-GLOBAL ID：200903011207574608
めっき装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052052
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259170
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 被めっき物、例えば、半導体ウェーハにバンプ電極を形成するめっき装置に関し、特に均一な高さのバンプ電極を形成できるめっき装置の提供を目的とする。【構成】 めっき電源29のマイナス極に接続し、被めっき面41a を上に向けた被めっき物41に電気的に接触するカソード電極24と、このカソード電極24の直下に配設されるとともに、めっき電源29のプラス極に接続し、めっき液40を自在に通過させるアノード電極27と、制御装置21により制御される昇降装置20より鉛直方向に上昇された際に、アノード電極27及び被めっき物41とともにカソード電極24とを槽内に侵入させるとともに、昇降装置20より鉛直方向に下降された際に、アノード電極27及び被めっき物41とともにカソード電極24とを槽外にするめっき槽23と、制御装置21により制御される噴流ポンプ32を連結し、この噴流ポンプ32がめっき液貯蔵タンク30から汲み上げためっき液40をめっき槽23内に上方から吐出するめっき液吐出管31とを含ませて構成する。
請求項（抜粋）：
めっき液に上に向けて浸漬した被めっき物の被めっき面にめっきを行なう装置であって、めっき電源(29)のマイナス極に接続し、被めっき面(41a) を上に向けた被めっき物(41)に電気的に接触するカソード電極(24)と、前記カソード電極(24)の直下に配設されるとともに、前記めっき電源(29)のプラス極に接続し、前記めっき液(40)を自在に通過させるアノード電極(27)と、制御装置(21)により制御される昇降装置(20)より鉛直方向に上昇された際に、前記アノード電極(27)及び前記被めっき物(41)とともに前記カソード電極(24)とを槽内に侵入させるとともに、前記昇降装置(20)より鉛直方向に下降された際に、前記アノード電極(27)及び前記被めっき物(41)とともに前記カソード電極(24)とを槽外にするめっき槽(23)と、前記制御装置(21)により制御される噴流ポンプ(32)を連結し、この噴流ポンプ(32)がめっき液貯蔵タンク(30)から汲み上げためっき液(40)を前記めっき槽(23)内に上方から吐出するめっき液吐出管(31)とを含んでなることを特徴とするめっき装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
