特許
J-GLOBAL ID：200903011207922681
ウエハの加熱方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-044163
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260426
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】スリップの発生がヒータの発熱密度の均一性に依存せず、かつウエハとホルダの接触面積にも依存せず、スリップ発生の無い良好な加熱が行えるウエハの加熱方法及び装置を提供することを目的とする。【構成】測温手段としての放射温度計7A,7B,7Cの測温位置(A),(B)を、ウエハ1の外周部かつウエハ1の中心からウエハ1の半径の70%以上離れた部分の複数の異なった位置とするとともに、複数の測温点(A),(B)間の温度差が昇温過程及び高温保持時に5°C以内であるように加熱するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
ウエハ及び該ウエハを保持するホルダの直下に少なくとも2つのヒータを設置し、これらヒ-タの温度制御を測温手段による前記ウエハ及び前記ホルダの測温結果に基づいて行うことにより前記ウエハを800°C以上に加熱するようにしたウエハの加熱方法において、前記測温手段により、前記ウエハの外周部かつウエハの中心からウエハの半径の70%以上離れた部分の複数の異なった位置を測温するとともに、複数の測温点間の温度差が昇温過程及び高温保持時に5°C以内であるように加熱することを特徴とするウエハの加熱方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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