マスク固定用枠

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：池田治幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-323027
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155687
出願日： 1995年12月12日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】マスク作製時或いはマスク使用時において、置かれる環境の温度に起因するマスク固定枠或いはマスク固定用部材の膨張や収縮を抑制し得るマスク固定用枠を提供する。【解決手段】マスク固定用枠10を構成するパイプ18内には、メッシュ16の周縁部に沿って所定温度の熱媒体を循環させるための流路18a,18bおよび連結穴24から構成される熱媒体循環路が備えられる。そのため、露光中や製版12の置かれる環境の温度が変化する場合には、その熱媒体循環路内を循環させる熱媒体の温度を適宜設定することにより、マスク固定用枠10の温度を一定に保ち、その環境温度差に起因する膨張および収縮を抑制し得る。したがって、マスク固定用枠10の膨張等に起因してメッシュ16に与えられる張力が適正でなくなることや、パターン精度の低下等が抑制される。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されたマスクがその周縁部において固定されるための枠部材が環状に連結されて成るマスク固定用枠において、前記マスクの周縁部に沿って所定温度の熱媒体を循環させるための熱媒体循環路を前記枠部材内に設けたこと特徴とするマスク固定用枠。

IPC (3件)：

B23Q 11/14 , B41F 15/36 , G03F 1/14

FI (3件)：

B23Q 11/14 , B41F 15/36 B , G03F 1/14 M

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