特許

J-GLOBAL ID：200903011218284113

基板用コンベア

発明者： 山口 岳人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-203498
公開番号（公開出願番号）：特開2004-043119
出願日： 2002年07月12日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】搬送中の汚染や帯電、たわみによる不良品の発生を防止した基板搬送用のコンベアを構成する。【解決手段】搬送方向に直交する方向に傾斜し、表面にエアーが吹き出す多孔質プレート4を備え、θ調整機構8によって傾斜角(θ)が調整可能である傾斜台3の低い側に複数個の回転ローラ5を複数個配置し、多孔質プレート4よりクリーンエアーを吹き出して基板1を浮き上がらせて回転ローラ5により該基板1の一側辺を支持して搬送する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

平板状の基板の搬送に用いられるコンベアであって、表面が搬送方向に直交する方向に傾斜し、表面にエアー吹き出し孔を有する傾斜台と、該エアー吹き出し孔にエアーを供給するエアー供給機構と、上記傾斜台の低い側に沿って一列に配置され、傾斜台表面に直交する方向乃至鉛直方向に回転軸を有する複数個の回転ローラと、該回転ローラの駆動機構と、傾斜台の傾斜角調整治具とを有することを特徴とする基板用コンベア。

IPC (5件)：

B65G49/06 ,  B65G13/00 ,  B65G13/02 ,  B65G51/03 ,  H01L21/68

FI (5件)：

B65G49/06 Z ,  B65G13/00 Z ,  B65G13/02 ,  B65G51/03 C ,  H01L21/68 A

Fターム (11件)：

3F033BB12 ,  3F033BC03 ,  3F033BC10 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA18 ,  5F031GA53 ,  5F031GA62 ,  5F031NA15 ,  5F031PA21