特許

J-GLOBAL ID：200903011222697180

走査型プローブ顕微鏡の測定方法

発明者： 佐藤 千秋 ,  越石 喜代三 ,  重富 貞夫 ,  三島 周三 ,  高瀬 つぎ子
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-105807
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054834
出願日： 1988年08月12日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡の探触針を用いて得られる観察像と、他の顕微鏡等で得られる光学観察像を得ること。【解決手段】探触針24と、試料12を保持する試料台31と、この試料12と探触針24とを相対的に駆動する3次元アクチュエータ22及び粗動装置30と、試料12の表面状態を光学的に観察する光学顕微鏡3とを備えた走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、少なくとも以下の工程を含む、光学顕微鏡3を用いて試料12を光学的に観察する工程と、探触針24を用いて試料12を測定する工程。

請求項（抜粋）：

探触針と、試料を保持する試料保持手段と、この試料と探触針とを相対的に駆動する駆動手段と、前記試料の表面状態を光学的に観察する試料観察光学系とを備えた走査型プローブ顕微鏡の測定方法であって、少なくとも以下の工程を含む、前記試料観察光学系を用いて前記試料を光学的に観察する工程と、前記探触針を用いて試料を測定する工程。

IPC (5件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 11/30 ,  G01B 21/30 ,  G02B 21/00

FI (5件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-168853
  
• 特許第4343993号
  
• 特開昭61-168853
  
• 特開昭61-168853