特許

J-GLOBAL ID：200903011224071725

結晶質酸化アルミニウム薄膜体の製造方法

発明者： 中山 鶴雄 ,  和気 仁志
出願人/特許権者： ぺんてる株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027426
公開番号（公開出願番号）：特開平7-216587
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：

【要約】【構成】 陽極酸化処理により得た多数の貫通孔を有する酸化アルミニウム薄膜体に結晶化の熱処理を施してなる結晶質酸化アルミニウム薄膜体の製造方法。熱処理の前に溶解液で処理して貫通孔の孔壁を溶解して孔径を大きくしておく。【効果】 吸着活性と耐薬品性に優れ、また、結晶質ゆえの強度を有する結晶質酸化アルミニウム薄膜体を、変形や割れを十分に抑制しながら容易に製造することができる。また、溶解液による処理により貫通孔の大きさを変えることもできるので、貫通孔の大きさ調整も兼ねることができる。

請求項（抜粋）：

陽極酸化処理により得た多数の貫通孔を有する酸化アルミニウム薄膜体を溶解液で処理して前記貫通孔の孔壁を溶解して孔径を大きくし、その後、結晶化の熱処理を施してなる結晶質酸化アルミニウム薄膜体の製造方法。

IPC (3件)：

C25D 11/18 ,  C12N 11/14 ,  G01N 27/327