特許
J-GLOBAL ID：200903011229357260
薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー 及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-180532
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035539
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 製造工程上の制約がなく、性能の安定した薄膜型変位センサー付きカンチレバーを提供する。【構成】 可撓性プレートと鉛系強誘電薄膜との反応を防ぐために可撓性プレート上に鉛系強誘電材料との反応性がきわめて低いバッファ層を設け、上部電極を全面電極とする。
請求項（抜粋）：
可撓性プレートと、その先端付近に固定された針状チップと、前記可撓性プレート上に設けられた下部電極、圧電または電歪特性を持つ鉛系強誘電体中間層、上部電極からなる薄膜型変位センサーとを有するカンチレバーにおいて、前記可撓性プレートと前記下部電極との間にバッファ層を設けたことを特徴とする薄膜型変位センサー付きカンチレバー。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
