特許
J-GLOBAL ID：200903011238291760
液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-027025
公開番号（公開出願番号）：特開2005-219243
出願日： 2004年02月03日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：
【課題】 ノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】 シリコン基板からなり流路形成基板10の一方面側に振動板を形成すると共に流路形成基板10の連通部13が形成される領域に対向する部分の振動板(弾性膜50及び絶縁体膜55)を除去してその流路形成基板10の一方面を露出させる開口部50a,55aを形成する工程と、開口部50a内に露出された流路形成基板10にボロンを拡散させてボロンドープ層130を形成する工程と、振動板上に圧電素子300を形成する工程と、流路形成基板10の圧電素子300側の面にリザーバ形成基板30を接合する工程と、流路形成基板10の他方面側からボロンドープ層130及び振動板が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室12を形成すると共にリザーバ部31に対向する領域に連通部13を形成する工程と、ボロンドープ層130をドライエッチングにより除去してリザーバ部31と連通部13とを連通させる工程とを具備する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
シリコン基板からなり液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と当該圧力発生室に連通する連通部とが形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合されて前記連通部と共に前記各圧力発生室の共通の液体室であるリザーバの一部を構成するリザーバ部が形成されるリザーバ形成基板とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成基板の一方面側に前記振動板を形成すると共に前記流路形成基板の前記連通部が形成される領域に対向する部分の前記振動板を除去して当該流路形成基板の一方面を露出させる開口部を形成する工程と、前記開口部内に露出された前記流路形成基板にボロンを拡散させてボロンドープ層を形成する工程と、前記振動板上に前記圧電素子を形成する工程と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に前記リザーバ形成基板を接合する工程と、前記流路形成基板の他方面側から前記ボロンドープ層及び前記振動板が露出するまでウェットエッチングして前記圧力発生室を形成すると共に前記リザーバ部に対向する領域に前記連通部を形成する工程と、前記ボロンドープ層をドライエッチングにより除去して前記リザーバ部と前記連通部とを連通させる工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF72
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG33
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP34
, 2C057AP56
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
