特許
J-GLOBAL ID：200903011238395744
塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-186576
公開番号（公開出願番号）：特開平10-005690
出願日： 1996年06月27日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】 大型ガラス基板等の枚葉タイプの被塗布基板に対して感光性の塗布膜を均一に形成でき、かつ、塗布液の使用効率の高い塗布方法を提供する。【解決手段】 上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに加温して粘度を低下させた感光性の塗布液を供給し、この塗布液をスリットから吐出させてビードを形成し、被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させることによって塗布液を急速に冷却して均一な厚みの塗布膜を維持するとともに塗布液の使用効率を高くする。
請求項（抜粋）：
上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに加温された感光性の塗布液を供給し、該塗布液を前記スリットから吐出させて前記塗布ヘッドの上方を通って斜め上方向に相対的に移動する被塗布基板と前記塗布ヘッドの間にビードを形成し、該ビードから被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させることによって前記被塗布基板への塗布液の塗布を行うことを特徴とした塗布方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特開平4-038621
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特開平1-203073
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レジスト塗布装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-237760
出願人：株式会社日立製作所
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