特許
J-GLOBAL ID：200903011241658632
蒸着重合装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090489
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255791
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：
【要約】【課題】 基材の表面に高分子膜を形成させる蒸着重合に続いて熱処理を行なうことができて、その冷却に長時間を要せず、装置内に付着する重合物を容易に除去し得る蒸着重合装置を提供すること。【解決手段】 真空槽11内に重合熱処理室21を設けてそれぞれ独立して真空排気可能とし、かつ重合熱処理室21の内面に近接して850°C以上の温度に加熱可能なヒータ23と開閉し得る加熱ヒータ24を設ける。また重合熱処理室21には開閉可能な仕切ゲート34を介して冷却槽41を接続し、冷却槽41と重合熱処理室21との間に基材Sを搬送するための搬送ローラ47を設ける。蒸着重合の後、重合熱処理室21の温度を上げて熱処理することができ、熱処理の後は850°C以上の温度に加熱して付着重合物を熱分解し排除し得る。
請求項（抜粋）：
真空下にモノマを蒸発させ基材の表面に蒸着させ重合させて高分子膜を形成させる蒸着重合装置において、真空槽内に該真空槽の圧力と同等またはそれ以下の圧力に真空排気される重合熱処理室が設けられ、かつ前記重合熱処理室の内面側に加熱手段が設けられており、蒸着重合の後に前記重合熱処理室の温度を前記蒸着重合時より上昇させて形成されている高分子膜を熱処理し得ることを特徴とする蒸着重合装置。
IPC (2件)：
C08G 85/00 NVC
, C23C 14/12
C08G 85/00 NVC
, C23C 14/12
