特許

J-GLOBAL ID：200903011253720007

進行波型光変調器

発明者： 大野 一茂 ,  神山 達也 ,  中村 正則
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 上野 登 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-230995
公開番号（公開出願番号）：特開平7-064034
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 DCドリフト特性に優れ、かつ可視光領域での耐光損傷性にも優れた進行波型高速通信用の光変調器を提供すること【構成】 タンタル酸リチウム単結晶基板上に液相エピタキシャル結晶成長法によりニオブ酸リチウム単結晶薄膜を形成し、その表面をエッチングすることによりリッジ構造のマッファツェンダ型光導波路を形成する。そしてそのニオブ酸リチウム単結晶薄膜光導波路上に進行波電極を配設している。

請求項（抜粋）：

タンタル酸リチウム単結晶基板上に格子整合されたニオブ酸リチウム単結晶薄膜導波路が形成されてなり、該ニオブ酸リチウム単結晶薄膜光導波路上に進行波電極を配設してなることを特徴とする進行波型光変調器。

IPC (2件)：

G02F 1/035 ,  C30B 29/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光導波路および導波路型光デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-172989   出願人：イビデン株式会社
• 特開平3-229214
  
• 特開平3-229214