特許

J-GLOBAL ID：200903011254581620

真空バルブ

発明者： 石 垣 恒 雄
出願人/特許権者： エスエムシー株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332585
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166085
出願日： 1994年12月13日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】 急速排気によるトラブルがなく、しかも流路が全開するときのチャンバポートの圧力に正確に応答する真空バルブを提供する。【構成】 チャンバポート6とポンプポート5間の流路7中に設けた弁座8を開閉する弁体10と、弁座よりポンプポート側の流路7を絞り状態で連通させる絞り部材18とを設け、絞り部材を移動させる圧力作用室24に、大気圧とチャンバポート6の圧力とを対向して作用させるとともに、圧力作用室24に絞り部材18を流路7の絞り状態に付勢する流量調整ばね27を縮設する。チャンバポート6の圧力が高いときは、弁体10が弁座8を開放しても両ポート間が絞り部材18による絞り状態で連通し、排気によって圧力作用室に対向して作用する差圧の作用力が流量調整ばね27の付勢力より大きくなると、絞り部材18が移動して流路が全開状態で連通する。

請求項（抜粋）：

真空源に接続されるポンプポート、真空チャンバに接続されるチャンバポート、及びこれらのポートを連通させる流路中の弁座を有するボディと、該弁座を開閉する弁体と、該弁体の駆動部とを備えた真空バルブにおいて、上記真空バルブが、弁座よりポンプポート側において上記流路を絞り状態で連通させる絞り部材と、大気圧とチャンバポートの圧力とが対向して作用する圧力作用室と、上記絞り部材を流路の開放方向に付勢する流量調整ばねとを備え、上記絞り部材が、圧力作用室に対向して作用する大気圧とチャンバポートの差圧の作用力と、流量調整ばねの付勢力との大小により移動して、チャンバポートとポンプポートとを絞り状態と開放状態とに切り換えて連通させる、ことを特徴とする真空バルブ。