特許

J-GLOBAL ID：200903011255263908

共焦点顕微鏡

発明者： 北川 久雄
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-032164
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230245
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】使用目的や試料に応じて対物レンズの倍率を変更しても、各対物レンズの性能を生かした共焦点効果うちの特にセクショニング効果の劣化を防止でき、また光量損失を少なくすることが可能な共焦点顕微鏡を得る。【解決手段】レーザ光を試料15上に集光する対物レンズ14と、レーザ光と対物レンズ14間の像面に回転可能に配置され、照射光を通過する複数のピンホール13を有するピンホール板2と、14とレーザ光との間に配置されたビームスプリッタ7と、7で分岐した試料15上の検査信号を検出する撮像デバイス18とを備え、照射光を15に対して走査する共焦点顕微鏡において、14の倍率を変更可能な対物レンズ倍率変更手段と、14と2との間に配置され、15から2への倍率を、対物レンズ倍率変更手段により変更される倍率に対応して変更可能な中間倍率変更光学系20を具備したもの。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源から発した照射光を試料上に集光する対物レンズと、前記光源と前記対物レンズ間の像面に回転可能に配置され、前記照射光を通過する複数のピンホールを有するピンホール板と、前記対物レンズと前記光源との間に配置された光分岐光学系と、前記光分岐光学系で分岐した前記試料上の検査信号を検出する検出器とを備え、前記照射光を試料に対して走査する共焦点顕微鏡において、前記対物レンズの倍率を変更可能な対物レンズ倍率変更手段と、前記対物レンズと前記ピンホール板との間に配置され、前記試料から該ピンホール板への倍率を、前記対物レンズ倍率変更手段により変更される倍率に対応して変更可能な中間倍率変更手段と、を具備した共焦点顕微鏡。