特許
J-GLOBAL ID：200903011259322470
サーマルヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-145006
公開番号（公開出願番号）：特開平8-001974
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、コストが安く、高速印字ができ、低消費電力でかつ長寿命のサーマルヘッドの製造方法を提供することにある。【構成】 絶縁基板1上の所定の領域に定められた発熱部2を挟んで前記絶縁基板1上に導体3,3′を形成し、発熱部2及び導体3,3′を連続的に抵抗体4で覆い、この抵抗体4の表面を陽極酸化して保護層5を形成する。抵抗体4はバイアススパッタリングにより成膜される。
請求項（抜粋）：
絶縁基板上の所定の領域に定められた発熱部を挟んで前記絶縁基板上に導体を形成する第1の工程と、前記発熱部及び前記導体を抵抗体で連続的に覆う第2の工程と、この抵抗体の表面を陽極酸化する第3の工程とを含み、前記第2の工程では前記抵抗体がバイアススパッタリングにより成膜され該膜に不活性ガスの原子を混入させることを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/20 111 H
, B41J 3/04 103 H
