特許
J-GLOBAL ID：200903011263489354
二酸化珪素被膜の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252355
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081928
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 フィルタの実質的な閉塞時間を延長し、成膜中のフィルタの切り換えを、処理液中にダストを発生させることなく行うことのできる濾過手段を備えた二酸化珪素被膜の製造装置を提供する。【構成】 二酸化珪素の過飽和状態となった珪弗化水素酸溶液を含む処理液2と、該処理液を被処理基板と接触させて該基板表面に二酸化珪素被膜を析出させる処理槽1と、前記処理液の二酸化珪素の過飽和状態を維持するために活性材7を溶解させる処理液調整槽4と、前記処理液を前記処理槽と前記処理液調整槽に循環させる循環手段5と、該処理液の循環路に配置された濾過手段6とを備えた二酸化珪素被膜の製造装置において、前記濾過手段は、上流から下流に順次孔径を大きくした複数個のフィルタF1 ,F2 を直列に接続した配管11,12と、該配管の最下流のフィルタF2 を除き前記各フィルタF1 をバイパスする開閉弁V1 を備えたバイパス配管路13とを備えた。
請求項（抜粋）：
二酸化珪素の過飽和状態となった珪弗化水素酸溶液を含む処理液と、該処理液を被処理基板と接触させて該基板表面に二酸化珪素被膜を析出させる処理槽と、前記処理液の二酸化珪素の過飽和状態を維持するために活性材を溶解させる処理液調整槽と、前記処理液を前記処理槽と前記処理液調整槽に循環させる循環手段と、該処理液の循環路に配置された濾過手段とを備えた二酸化珪素被膜の製造装置において、前記濾過手段は、上流から下流に順次孔径を大きくした複数個のフィルタを直列に接続した配管と、該配管の最下流のフィルタを除き前記各フィルタをバイパスする開閉弁を備えたバイパス配管路とを備えたことを特徴とする二酸化珪素被膜の製造装置。
IPC (5件)：
C01B 33/12
, B01J 19/00
, C23C 18/00
, H01L 21/316
, C23C 18/16
