特許
J-GLOBAL ID：200903011266780416
ガラス封止デバイス製造方法およびガス放電表示パネルの製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186578
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036688
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【構成】材料の前駆物質を不活性ガス気流中のコンベア式加熱炉内に導入し、前駆物質の熱分解,デバイス封止を連続して行い、さらに引き続いてデバイス内排気を行う。【効果】化学的に活性な材料を用いたデバイスを高いスループットで製造できる。
請求項（抜粋）：
アルカリ金属あるいはアルカリ土類金属の窒化物の熱分解によりアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属の材料を有するガラス封止デバイスを製造する方法において、前記窒化物の熱分解過程と、前記ガラス封止デバイスを密閉する封着過程と、不活性ガス気流中で連続して行い、引き続いて前記ガラス封止デバイス内を排気する排気過程を含むことを特徴とするガラス封止デバイス製造方法。
IPC (2件)：
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