特許
J-GLOBAL ID：200903011272240474
干渉計測装置及び干渉計測装置用プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314586
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132718
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 光学系をシンプルとするとともに、ひとつの受光部で方向弁別機能と高分解検出機能の両方の信号処理を可能とする。【解決手段】 光導波路部3から射出したTE波は、ビームスプリッタ部5にとってはP波形成分となるため透過し、測定光路に導かれる。また光導波路から射出したTM波は、ビームスプリッタ部5にとっては、S波成分となるため反射し、参照光路へ導かれる。それぞれの光路には、第1及び第2の1/4波長板10及び11が挿入されており、往復で1/2波長板としての作用を受ける。参照光(TM波)は、参照反射部8で反射され、S成分からP成分(TE波)になってビームスプリッタ部5に戻ってくるため、ビームスプリッタ部5を通過する。一方、測定光(TE波)は、測定反射部9で反射され、P成分からS成分(TM波)になって、再びビームスプリッタ部5に戻ってくるので、ビームスプリッタ部5で反射される。偏光部材12により、TM波とTE波は偏光部材12の方向成分のみが抽出されて両波は干渉し、これにより変位計測部7で変位が計測される。
請求項（抜粋）：
直線偏波光を供給するための光源部と、入射光束のTM波とTE波に対して所定の変調周波数により、それぞれ異なる位相を与える位相変調部が設けられ、上記光源部からの光束を入射し、位相変調光束を出射する光導波路部と、上記光導波路部で位相変調された上記位相変調光束を偏光方向により測定光束と参照光束とに分離し、上記測定光束を測定対象物が配置される測定光路へ、上記参照光束を参照反射部が配置される参照光路へ向かわせるビームスプリッタ部と、上記ビームスプリッタ部を介して、上記参照光路を経て戻ってくる上記参照光束と上記測定光路を経て戻ってくる上記測定光束とを干渉させた干渉光束を受光する受光部と、上記受光部の出力から互いに90度位相の異なる周波数成分を抽出し、該抽出された信号に基づき対象物の変位を測定する変位測定部とを備えた干渉計測装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/00 G
, G01B 11/00 F
, G01B 9/02
