特許

J-GLOBAL ID：200903011281160491

有機薄膜の製造方法

発明者： 津村 顯 ,  肥塚 裕至
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065226
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279991
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【構成】 本発明の第1は、低圧下で有機化合物を蒸発させ、基板6上に該有機化合物を堆積させる有機薄膜の製造方法において、該有機化合物が基板6と少なくとも配位結合、共有結合、電荷移動錯体、水素結合の内一種以上形成するようにした。また本発明の第2は、低圧下で蒸発させた有機化合物(1)と有機化合物(2)とを気相で反応させ、該気相反応によって生成した有機化合物(3)を薄膜として基板6上に堆積させるようにした。【効果】 適用できる材料が多く、製膜効率に優れ、有機分子の配向性や膜厚等の精密な制御性に優れた有機薄膜の製造方法が提供される。

請求項（抜粋）：

低圧下で有機化合物を蒸発させ、基板上に該有機化合物を堆積させる有機薄膜の製造方法において、該有機化合物が基板と少なくとも配位結合、共有結合、電荷移動錯体、水素結合の内一種以上形成することを特徴とする、有機薄膜の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-037613
  
• 特開平2-114574
  
• 特開平3-200218
  
• 特開昭62-138529