特許
J-GLOBAL ID：200903011286468710
ペリクル付ガラスマスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083203
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295057
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 ペリクル外部の気圧の変動によるペリクル膜の形状変化を防止し、信頼性の高いペリクル付ガラスマスクを提供することである。【構成】 主表面に遮光性のパターンが形成されたガラス板13と、ペリクルフレーム11との間に、欠落部15を有する金属薄膜14を形成する。
請求項（抜粋）：
主表面に遮光性のパターンが形成されたガラス板と、ペリクルフレームとの間に、欠落部を有する金属薄膜を形成したことを特徴とするペリクル付ガラスマスク。
IPC (2件)：
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