特許
J-GLOBAL ID:200903011293520736
基板重ね合わせ装置、基板の貼り合わせ方法、および液晶セルの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂口 博 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-253547
公開番号(公開出願番号):特開2003-066466
出願日: 2001年08月23日
公開日(公表日): 2003年03月05日
要約:
【要約】【課題】 基板類に歪みが生じていたとしても、微調整の必要なく位置合わせを行うことができるようにする。【解決手段】 アレイ基板3およびカラーフィルター基板4に付されたアライメントマークをアライメントカメラ10により撮像して、その位置を位置算出部13により算出し、算出されたアライメントマークの位置から、基準点位置算定部14により、アレイ基板3およびカラーフィルター基板4の位置合わせ基準点の位置を算出する。一方、両基板における所定方向の中線同士がなす角を角度算定部15において算出し、基準点位置算定部14、角度算定部15の算出結果に基づき、動作命令部16が、保持手段9を制御して、両基板の位置合わせ基準点の位置がZ方向から見た場合に一致し、かつ、各基板の中線同士が一致するように、カラーフィルター基板4またはアレイ基板3を移動・回転させる。
請求項(抜粋):
互いに平行配置された一対の基板の相対位置を調整可能とされた位置決め部と、前記位置決め部の動作を制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、各前記基板に付された複数のマークの重心である位置合わせ基準点同士の相対位置を算定する基準点位置算定部と、各前記基板の前記複数のマークに含まれる4つのマークを頂点とする四辺形の中点のうち互いに対向する2点を結ぶ直線同士がなす角度を算定する角度算定部と、算定された前記相対位置および前記角度に基づいて、前記位置決め部を動作させる動作命令部とを有することを特徴とする基板重ね合わせ装置。
IPC (3件):
G02F 1/1339 505
, G02F 1/1339 500
, G02F 1/13 101
FI (3件):
G02F 1/1339 505
, G02F 1/1339 500
, G02F 1/13 101
Fターム (7件):
2H088FA04
, 2H088FA16
, 2H088FA30
, 2H088MA17
, 2H089NA38
, 2H089NA60
, 2H089QA12
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