特許
J-GLOBAL ID：200903011293895683
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350920
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164645
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 圧力センサにおいて、圧力を長期に亘り高精度に検出できると共に、温度補償機能を有する圧力センサをコンパクトに構成する。【構成】 圧電体31の上,下面に貼着された各プラス側電極32A,各マイナス側電極32Cの間を、応力軸方向と同一方向となる分極軸P1 を有する第1の圧電体部31A,31Aとし、各マイナス側電極32B,プラス側電極32Dの間を、応力軸方向と逆方向となる分極軸P2 を有する第2の圧電体部31B,31Bとして扇状に4分割にして形成する。そして、受圧ロッド33の各扇状押圧面33Fで前記各第1の圧電体部31Aを押圧して圧力を検出し、各第2の圧電体部31Bでパイロ電気を検出し、各第1の圧電体部31Aに加重されるパイロ電気分を打消すことができる。
請求項（抜粋）：
ケーシングと、該ケーシングの先端側に設けられ、該ケーシングの先端側に外部から作用する圧力に応じて軸方向に変位するダイヤフラムと、該ダイヤフラムに当接するように前記ケーシング内に設けられた受圧ロッドと、該受圧ロッドを介して伝達される前記ダイヤフラムの変位を前記圧力に応じた電圧信号として出力する圧電体とからなる圧力センサにおいて、前記圧電体は応力軸方向と分極軸方向とが同一方向となる第1の圧電体部と応力軸方向と分極軸方向とが互いに逆方向となる第2の圧電体部とに分割して形成し、前記受圧ロッドの圧電体押圧面側には、前記圧電体の第1の圧電体部と対応する位置に押圧突起面を形成したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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