特許
J-GLOBAL ID：200903011294508586

改良形試料検査システム

発明者：
ストコウスキィー,スタンレイ

ストコウスキィー,スタンレイ について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー コーポレイション

ケーエルエー-テンカー コーポレイション について


代理人 (1件)： 井ノ口 壽
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-512065
公開番号（公開出願番号）：特表2001-516874
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：
【要約】湾曲した鏡面(78)を用いて、試料表面(76a)により散乱され垂直照明ビーム(70)および傾斜照明ビーム(90)から発生する放射を収集する。収集した放射は検出器(80)に集束される。垂直および傾斜の照明ビームから発生した散乱放射は、2つの異なる波長で放射を用いるか、2つのビームによって照明されるスポット間に意図的にオフセットを導入するか、もしくは垂直および傾斜照明ビーム(70,90)を交互にオンおよびオフに切り換えることによって、区別される。試料の高さが変化することによって生じるビームの位置誤差は、傾斜照明ビームの正反射を検出し、それに応答する照明の方向を変化させることによって修正する。バタフライ状の空間フィルタを湾曲ミラーの放射コレクタ(78)と組み合わせて用いてある方位角に限定して検出を行う場合もある。
請求項（抜粋）：
第1の経路に沿った第1の放射ビームを試料表面に向けるための第1の手段と、第2の経路に沿った第2の放射ビームを試料表面に向けるための第2の手段と、第1の検出器と、第1のビームおよび第2のビームから発生し試料表面から散乱された放射を受け、散乱された放射を前記第1の検出器に集束させる鏡面を含む手段とからなる試料の異常を検出するための光学システム。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J
Fターム (26件)：
2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB20 ,  2G051BC06 ,  2G051CA02 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC11 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA06 ,  4M106CA41 ,  4M106DB03 ,  4M106DB05 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB19 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06
引用特許：
審査官引用 (14件)
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