特許
J-GLOBAL ID：200903011295934856
直接写像型反射電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095180
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109381
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 直接写像型反射電子顕微鏡において結像系を実質的に光軸対称として歪の非常に少ない像を得る。【構成】 電子銃1からの一次電子ビームは所定の電圧で加速され、照射レンズ系2で収束され、ウィーンフィルタ13で偏向されて試料4に垂直に入射される。試料4から発生し、エミッションレンズ11で加速された反射電子は、エネルギー分析が行われる場合には、ウィーンフィルタ13を直進してウィーンフィルタ16に入射され、種々のエネルギーを有する反射電子の中から所定のエネルギーを有する反射電子のみが選別される。選別された反射電子はウィーンフィルタ16を直進し、その像は結像レンズ系17により所定の大きさに拡大されてスクリーン18に結像される。
請求項（抜粋）：
電子ビーム源と、前記電子ビーム源からの一次電子ビームを試料に向けて照射するための照射レンズ系と、試料の前方に配置され、前記電子ビーム源からの一次電子ビームを偏向して試料に垂直に入射させると共に、試料から発生される電子を直進させる第1のウィーンフィルタと、前記第1のウィーンフィルタと試料との間に配置され、試料と共にエミッションレンズを形成する電子光学部材と、前記第1のウィーンフィルタを通過した電子の中から所定のエネルギーを有する電子のみを選別する第2のウィーンフィルタとを備えることを特徴とする直接写像型反射電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/29
, H01J 37/05
, H01J 49/48
