特許
J-GLOBAL ID：200903011298182146
真空排気方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 宏之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-208716
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033768
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 被真空容器内の真空度を低下させることなく水素吸蔵物質を交換できる真空排気方法及びその装置の提供。【構成】 被真空容器1と、被真空容器1に接続され、水素を水素化物として吸収する水素吸蔵物質3を収容するゲッターモジユール2と、ゲッターモジユール2に接続される真空排気装置4と、ゲッターモジユール2を迂回して、被真空容器1と真空排気装置4との間を接続するバイパス排気路14とを備える真空排気装置を用い、ゲッターモジユール2の吸気側及び排気側を遮断し、水素吸蔵物質3を交換する。
請求項（抜粋）：
被真空容器と、被真空容器に接続され、水素を水素化物として吸収する水素吸蔵物質を収容するゲッターモジユールと、ゲッターモジユールに接続される真空ポンプと、ゲッターモジユールを迂回して、被真空容器と真空ポンプとの間を接続するバイパス排気路とを備える真空排気装置を用い、ゲッターモジユールの吸気側及び排気側を遮断し、バイパス排気路を解放したままでゲッターモジユールの水素吸蔵物質を交換することにより、被真空容器内を高真空状態に保つことを特徴とする真空排気方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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