特許
J-GLOBAL ID：200903011298851943
基板端縁洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341688
公開番号（公開出願番号）：特開平6-165975
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 角型基板の周縁部の表裏両面の少なくとも一方に対する不要薄膜の洗浄除去とともに位置決め部材に付着した不要薄膜を除去できるようにする。【構成】 表面に薄膜が形成された角型基板1を基板保持手段に載置保持させ、その角型基板1の対向する二辺それぞれに作用するように、角型基板1の端縁の不要薄膜を洗浄除去する基板端縁洗浄具3を設け、かつ、それらの基板端縁洗浄具3それぞれを、角型基板の端縁1の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、角型基板1の端縁の外方に設けられて溶剤ノズルからの溶剤や不要薄膜を吸引排出する吸引部材23とから構成し、吸引部材23内に位置決め板29を設け、角型基板1の周端面に当接して位置決めを行う。
請求項（抜粋）：
表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の不要薄膜を洗浄除去する端縁洗浄手段とを備えた基板端縁洗浄装置において、前記端縁洗浄手段に、前記角型基板の周端面に当接して前記基板保持手段に所定位置に保持させる位置決め機能を兼備したことを特徴とする基板端縁洗浄装置。
IPC (6件)：
B08B 11/02
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
, H05K 3/26
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
