特許
J-GLOBAL ID：200903011301915443
多層膜フィルタ付き受光素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163522
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022630
出願日： 1993年07月01日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 低コストで分光感度特性のよい多層膜フィルタ付き受光素子を提供する。【構成】 セラミック製のステム1の凹部1aに受光基板2をマウントする。上記受光基板2のP型層2a上に電極パッド4を形成し、受光基板2のN型層2b上に電極パッド5を形成する。上記電極パッド4,5の領域を除く受光基板2上に光学多層膜30を形成する。そして、上記ステム1の凹部1a内にエポキシ系の透明樹脂を流し込んで硬化させて、受光基板2を覆う樹脂部3を形成する。なお、上記光学多層膜30は、受光基板2の温度を150°C〜250°Cとして、SiO2からなる非晶質の低屈折率膜とTiO2からなる非晶質の高屈折率膜とを交互に積層して形成する。
請求項（抜粋）：
光電変換用の受光基板と、上記受光基板上に形成され、波長選択性を有する多層膜とを備えた多層膜フィルタ付き受光素子であって、上記多層膜は、高屈折率膜と低屈折率膜で構成され、上記高屈折率膜と上記低屈折率膜のうち少なくとも一方が非晶質であることを特徴とする多層膜フィルタ付き受光素子。
引用特許：
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