特許

J-GLOBAL ID：200903011305689766

ポジ型シリコーン含有感光性組成物

発明者： 安波 昭一郎
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031591
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231195
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】遠紫外領域の露光に対応することができ、高感度で且つ高い解像力を有し、特に0.2μm以下の微細パターンを形成する際、現像処理後の膜減りが少なく、酸素プラズマ工程でも寸法変動が少なく、しかもプロセス許容性の広いポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】 水には不溶性、アルカリには可溶性である、特定のシロキサン構造を有するシリコン含有ポリマーと、活性光線もしくは放射線の照射により酸を発生する化合物と、特定の構造の繰り返し単位を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する性質のあるポリマーとを含有するポジ型シリコーン含有感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式〔I〕及び/又は〔II〕で表される構造を有し、水には不溶性、アルカリには可溶性であるポリマーと、(b)活性光線もしくは放射線の照射により酸を発生する化合物と、(c)下記一般式〔III〕で表される繰り返し単位を有し、酸により分解し得る基を有し、そしてアルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する性質のあるポリマーとを含有することを特徴とするポジ型シリコーン含有感光性組成物。【化1】上記一般式〔I〕及び〔II〕中;Xは、-C(=O)-Rで表される基、-CH(OH)-Rで表される基及びカルボキシル基よりなる群から選択される基であり、式中の複数のXは、同一又は異なっていてもよい。ここでRは、水素原子又は置換基を有していてもよい炭化水素基を示す。R’〜R'''''は、同一又は異なって、水酸基あるいは、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アラルキル基及びフェニル基よりなる群から選択される基である。Yは、アルキル基、アルコキシ基又はシロキシル基である。R0は、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有していてもよい、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基よりなる群から選ばれた基を表す。l、m、n及びqは、各々0又は正の整数であり、pは正の整数である。【化2】一般式〔III〕中;R1〜R3、R5〜R7は、同一又は異なって、水素原子、ハロゲン原子、-C(=O)-Z-R13で表される基、あるいは置換基を有していてもよい、アルキル基、アラルキル基又はアルコキシ基である。ここで、Zは、単結合、-O-、-NH-又は-N(R25)-を表す。R13及びR25は、同一又は異なって、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基又はアラルキル基を表す。R4、R8は、同一又は異なって、下記式で表される2〜5価の基を表す。【化3】上記式中、A1〜A5は、同一又は異なって、水素原子、-R14又は単結合を表し、A1〜A5のうち少なくとも1つは単結合である。R15は、単結合又は-R30-Y3-で表される基である。Zは、単結合又は-O-、-NH-、及び-NR25-のいずれかで表される基を表す。dは、0以上の整数である。ここで、R14は、上記R1〜R3、R5〜R7と同義である。R30は、置換基を有していてもよい、アルキレン基又はシクロアルキレン基を表す。Y3は、単結合、-S-、-O-、又は-OC(=O)-である。R25は、上記と同義である。R2とR4及びR6とR8とは、互いに結合して、下記に示す基を形成していてもよい。【化4】上記式中、Y0は上記R4、R8と同義であり、Y0がGあるいはQと結合する。Gは、-OH、-COOH、-CONHCOR16、-CONHSO2-R16及び-SO2NH-R16よりなる群から選ばれた基を表す。ここで、R16は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アシル基又はアリール基を表す。Qは、下記式で表される基のいずれかを表す。【化5】上記式中、R21及びR22は、同一又は異なって、水素原子、又はハロゲン原子を置換基として有していてもよい炭素数1〜4個のアルキル基を表す。R23は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、又はアラルキル基を表す。R26及びR27は、同一又は異なって、R21、R22と同義である。R28は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。aは、0以上の整数であり、bは、正の整数である。f及びgは、各々1〜4の整数である。

IPC (3件)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (22件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB06 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025FA17