特許
J-GLOBAL ID：200903011307738624
密閉型電子部品のリーク試験方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-038186
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232800
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】微少リークが有る不良品を良品と誤判定することがある。【解決手段】リレー搬送部1により小型リレー6を搬送し固定ヘッド5で固定する、リーク試験ヘッド3が試験ヘッド可動用シリンダ4によって押し上げられてパット2が小型リレー6に接触する。制御装置10は真空バルブ9を開かせて小型リレー6内部を真空状態にする。次に第1段目の大リークを圧力計8で測定し、処理装置11はこのデータを読み込み判定値と比較した判定結果を制御装置10へフィードバックして次の処理へ移行する。ワークが不良品と判定されると測定は終了し、良品と判定されると真空バルブ9を閉じて被測定物側を真空状態に保持する。第2段目の微少リークを圧力計8によって測定し、処理装置11にデータを読み込み判定値と比較した結果を制御装置10へフィードバックし、不良品は不良品排出ステージ13へ自動排出され、良品は次工程へ送付される。
請求項（抜粋）：
減圧手段を用いて密閉型電子部品の密封部における被測定物の内部圧力を減圧していき、この減圧開始から第1の所定時間後に減圧状態を圧力計測手段により測定し、圧力判定手段によりあらかじめ設定した判定値を満足していないと判定したときは測定終了とし、前記判定値を満足していると第1段目の判定を行ったときは前記減圧状態を保持して更に第2の所定時間放置した後、圧力の変化を差圧として読み取り前記判定値と比較して第2段目の判定を行うことを特徴とする密閉型電子部品のリーク試験方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05K 13/08 D
, H01H 49/00 A
