特許
J-GLOBAL ID：200903011316659168
非接触光学式の二面間距離測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270136
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117824
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 ゴム、金属その他の物質からなる不透明体であっても非接触でその不透明体の厚さ、段差等の二面間の距離を測定することができる非接触光学式の二面間距離測定装置を提供することを目的とする。【構成】本発明に係わる非接触光学式の二面間距離測定装置は、被測定物体28の一面Pと他面Qとの間の距離として定義される被測定物体の厚さdを測定するために、被測定物体28を間に挟んで対向しかつコヒーレントな測定光を各面にそれぞれ照射する一対の対向面用測定光学系12、13を備え、一対の対向面用測定光学系12、13はそれぞれ参照反射面16、24を有すると共に、被測定物体28の各面P、Qからの測定光の反射光束と参照反射面16、24からの測定光束の参照反射光とに基づく干渉光を受光する受光器PD1、PD2、PD3をそれぞれ有し、各受光器にはその受光出力に基づいて被測定物体28の厚さdを測定する測定処理回路が接続されている。
請求項（抜粋）：
被測定物体の一面と他面との間の距離として定義される被測定物体の厚さを測定するために、該被測定物体を間に挟んで対向しかつコヒーレントな測定光を各面にそれぞれ照射する一対の対向面用測定光学系を備え、該一対の対向面用測定光学系はそれぞれ参照反射面を有すると共に、前記被測定物体の各面からの測定光の反射光束と参照反射面からの測定光束の参照反射光とに基づく干渉光を受光する受光器をそれぞれ有し、該各受光器にはその受光出力に基づいて前記被測定物体の厚さを測定する測定処理回路が接続されていることを特徴とする非接触光学式の二面間距離測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/06
, G01B 9/02
, G01B 21/00
