特許

J-GLOBAL ID：200903011317612513

観察物体の物理量を検出するための装置およびこれを用いた検出方法

発明者： 石渡 裕
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-286103
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098253
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 観察物体の勾配,微小平面部,エッジ部,段差,位相変化量等の具体的な物理量を微分干渉顕微鏡によって得られる観察物体の微分干渉画像から短時間で検出するための装置とこれを用いた検出方法を提供する。【解決手段】 光源1と、ノマルスキープリズム13を備えた微分干渉顕微鏡4と、偏光成分のリターデーション量を変化させる偏光子10と、CCDカメラ5と、マイクロコンピュータ6とを備え、前記偏光成分リターデーション量を検出して偏光成分のリターデーション量が等しく符号の異なる観察物体15の2つの微分干渉画像を形成し、これら2つの微分干渉画像において夫々対応する画素毎に差演算を行って差画像を取得し、この差画像から所定の範囲の画像情報を抽出して、観察物体15の勾配を検出する。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源からの光を2つの偏光成分に分離するための部材を備えた前記光源からの光を観察物体に導くための照明光学系と、前記照明光学系内で分離された2つの偏光成分を再構成するための部材を備えた観察物体の像を形成するための結像光学系とを有する微分干渉顕微鏡と、前記2つの偏光成分のリターデーション量を変化させる手段と、観察物体の像を撮像する手段とを備え、前記リターデーション量を変化させる手段によって形成されたリターデーション量が等しく符号の異なる観察物体の2つの微分干渉像を前記撮像手段で撮像する検出装置において、前記2つの微分干渉像の画像において夫々対応する画素毎に差演算を行って差画像情報を取得し、該差画像情報から所定の範囲の画像情報を抽出することにより観察物体の勾配を検出する演算手段を備えていることを特徴とする検出装置。

Fターム (8件)：

2H052AA05 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AF02 ,  2H052AF13 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25