特許
J-GLOBAL ID：200903011319800791

静電容量型センサ

発明者：
樋口 誠良

樋口 誠良 について


出願人/特許権者：
オムロン株式会社

オムロン株式会社 について


代理人 (1件)： 松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-066109
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248577
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 高感度な静電容量型センサを提供すること【解決手段】 下部ダイアフラム12付きの基板10と、上部ダイアフラム28付きの基板26とを絶縁層22,24を介して接合し、両ダイアフラムは、所定の間隔をおいて対向配置するとともに、その間に可動板16を配置する。可動板は、その両面中央部に設けた絶縁性の柱部14,30にてそれぞれ前記両ダイアフラムに接続され、ダイアフラムの変形にともない可動板も変位するようにしている。周縁の方が変化量が大きくなる。可動板の両面には第2,第4電極21,32を設け、それに対向する基板の対向面に第1,第3電極20,31を形成し、その電極間に発生する静電容量に基づいてダイアフラムに加わる測定対象物理量を検出する。さらに、両ダイアフラムは、可動板に形成した貫通孔12aを貫通する複数の連結部材17により連結され一体化される。
請求項（抜粋）：
第1のダイアフラム付きの基板と、第2のダイアフラム付きの基板を接合し、前記第1のダイアフラムと前記第2のダイアフラムは、所定の間隔をおいて対向配置するとともに、それら両ダイアフラムの間に可動板を配置し、前記可動板は、その両面にてそれぞれ前記両ダイアフラムに絶縁状態で接続され、前記ダイアフラムの変形にともない前記可動板も変位するようにし、前記第1,第2のダイアフラムは、その対向面間を連結する複数の連結部材によって連結され、加わった測定対象物理量に基づいて一体となって変形するように構成し、前記連結部材は、前記可動板に形成された複数の貫通孔内を通過してその可動電極とは非接触状態となり、かつ、前記可動板の両面の少なくとも一方の面と、それに対向する基板の対向面に電極を形成し、その電極間に発生する静電容量に基づいて前記ダイアフラムに加わる前記測定対象物理量を検出するようにしたことを特徴とする静電容量型センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84 ,  G01F 1/20
FI (3件)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84 Z ,  G01F 1/20 E
引用特許：
審査官引用 (2件)

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